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        日本住友SGX系列半導體用臭氧水生產設備? SGX-1G21SNC

        型號:SGX-1G21SNC
        品牌:日本住友
        臭氧濃度:0-150ppm
        臭氧產量:150ppm
        使用氣源:氧氣源
        產地:日本
        冷卻方式:水冷
        設備尺寸:定制
        整機重量:20~100Kg
        推薦指數:comment rank 5
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        產品詳情

        實驗現場

        臭氧知識

        參考文獻

        住友的潔凈臭氧水制造設備是將潔凈臭氧發生器產生的臭氧氣體溶解于超純水中,生成臭氧水的裝置。
        最大限度地抑制微粒子和金屬污染的溶出,在半導體、液晶等電子設備材料的制造過程中,用于去除有機物、表面改性等用途,得到眾多客戶的高度評價評價。。
         
        應用領域
        半導體
        各種晶圓
        FPD(LTPS、HTPS、TFT、彩色濾光片、OLED)
        光罩
        硬盤
         
        SGX-1G21SNC規格
        臭氧水濃度:5至100ppm
        臭氧水流量:1 至 120 升/分鐘
        臭氧水供給壓力:max.0.25MPa
        原料氣:氧氣,(二氧化碳作為濃度衰減的對策)
        電源:AC200V 三相


        SGX-1B11SN規格
        臭氧水濃度 5至150ppm
        臭氧水流量 1 至 90 升/分鐘
        原料氣 氧氣,(二氧化碳作為濃度衰減的對策)
        電源 AC200V 三相

        SGXG規格
        臭氧水濃度:5-30ppm
        臭氧水流量:1 至 60 升/分鐘
        原料氣:氧氣(二氧化碳作為濃度衰減的對策)
        電源:AC200V 三相
         
        特征
        能夠處理高濃度和大流量
        占地面積小,結構緊湊
        低廉的運行成本(低功耗、更換部件少、放電電池壽命長)
        高耐壓、長壽命的高可靠性放電電池
        快速啟動和出色的集中響應能力
        通過連接臭氧濃度計(反饋控制)實現出色的濃度穩定性
        CE/NRTL 認證,符合 SEMI 標準
        停機時無需維護
        也可提供不含硝酸的臭氧水
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